无尘净化车间、净化室的温湿度记录主要是依据您的制作工艺规定来明确，在达到制作工艺的情况下，无尘厂房挑选需要考虑到人的舒适感。伴随着空气过滤规定的提升，加工工艺对温度湿度的需求也愈来愈高，无尘室净化车间需要到达一定的温湿度记录级别。
例如在规模性电子器件生产制造的光刻技术曝出加工工艺中，做为掩膜板原材料的夹层玻璃与单晶硅片的线膨胀系数的差规定愈来愈小。直徑100um的单晶硅片，溫度升高1度，就造成了0.24um线形胀大，因此需要有土0.1度的控温，与此同时规定环境湿度值一般较低，由于人流汗之后，对商品将有环境污染，尤其是怕钠的半导体材料生产车间，这类生产车间不适合超出25度。环境湿度过高造成的问题大量。空气湿度超出55时，冷却循环水壁厚上面冷凝水，假如出现在准确设备或线路中，便会造成各种各样安全事故。空气湿度在50的时候容易锈蚀。
殊不知针对绝大多数清洁室内空间，为了避免外部环境污染入侵，需要维持内部结构的工作压力（负压）高过外界的工作压力（负压)。压差的保持一般应满足下列标准:
1.洁净度等级等级高的室内空间的负担要高过邻近的洁净度等级等级低的室内空间的工作压力。
2.互通净化室中间的门要开在洁净度等级等级高的屋子。
3.清洁室内空间的负担要高过非清洁室内空间的工作压力。压差的保持借助排风量，这一排风量要能赔偿在这里一压差下从间隙泄漏掉的排风量。因此压差的物理意义便是泄漏(或渗入）排风量根据净化室的各种各样间隙时的摩擦阻力。
