洁净室空调洁净化方案包括制冷方案、热湿处理方案和送风方案。
1.制冷方案
制冷方案应根据供冷要求（耗冷量、供冷方式、冷冻水温等）、工程建设地区的水源情况（水温、水质、水量等)以及电源、热源情况而进行技术经济分析，既有较好的经济指标，又有技术上的先进性。制冷装置的选用是制冷方案确定过程中的中心环节，制冷装置的主要类型如下。
(1)压缩式制冷装置压缩式制冷装置包括活塞式制冷装置、离心式制冷装置和螺杆式制冷装置三种。
活塞（往复）压缩式制冷装置常用工质是氨(NH3)、氟利昂一12、22(F-12、22)。这类设备能满足各类空调供冷的要求，被广泛采用。但一次投资大，设备费用高，耗电量大，维护管理比较复杂。
离心压缩式制冷装置常用工质是氟利昂一11、113、114。该机与活塞式制冷压缩机的原理
相同，但它只有回转运动，比活塞式运转平稳，振动小，机件少，常与蒸发器、冷凝器组合为一体，设备紧凑占地面积小。离心式制冷压缩机的制冷量较大，因此只有空调耗冷量较大时，才选用这类设备。
螺杆式压缩制冷装置常用工质是氟里昂-12、22、氨(F-12、22、R717)。目前生产的螺杆式制冷压缩机与活塞式相比，虽效率稍低，但由于其结构简单，体积小，吸气系数高，排气温度低，单级压缩比大，对湿行程不敏感，排气脉动小，易损件少，检修周期长，制冷量可无级调节等优点，因此在各种制冷装置中得到较广泛应用。一般在(120~800)×10kJ/h容量范围内的制冷装置中用该机具有较好的技术经济指标。
(2)吸收式制冷装置吸收式制冷装置利用热能制冷。如氨一水吸收式制冷装置和水一溴化锂水溶液吸收式制冷装置。前者适用于低温冷冻；后者适用于空调供冷，制取4℃以上空调或工艺用冷水。溴化锂吸收式制冷中水为工质，溴化锂水溶液为吸收剂，它的特点如下。
对蒸汽热源的压力有极大的适应能力，当蒸汽压力为0.02~0.1MPa时，可采用单效溴化锂吸收式制冷机，当蒸汽压力为1.0一6.0MPa时，可采用双效溴化锂制冷机。其次设备简单，基本上是热交换器的组合体，容易制造，除小功率的屏蔽泵、真空泵外，无运动部件，因此振动小，运转平稳：设备在真空下工作，工质无臭、无毒，对人无害，使用安全，操作管理简单：容易实现设备操作自动化，制冷能力可在10%一100%范围内自动调节；对冷却水的水温适应性强，即使达到37一38℃，设备仍能正常运转：节省电能，在单机制冷量相同条件下，溴化锂制冷机的耗电量仅为压缩式制冷机的5%左右，这对于供电紧张而热源较充足的地区是很适用的。但是，溴化锂吸收式制冷也有缺点和使用的局限性，主要是溴化锂水溶液在接触空气的情况下，对金属具有强烈腐蚀性，一旦遭到腐蚀，不仅影响传热效果，降低使用寿命，而且会引起设备损坏，所以要求设备必须严格密封，加强运行管理。由于热能为制冷的动力，在吸收过程中又要放出吸收热，所以冷却水除要负担冷却器的冷却热负荷外，还要负担吸收器的冷却热负荷，其总的冷却热负荷比压缩式制冷机大一倍左右。
(3)蒸汽喷射式制冷装置蒸汽喷射式制冷装置也是利用热能进行制冷的一种设备，以水为制冷剂，以蒸汽为制冷动力。蒸汽的压力要求0.2~0.8MPa。其主要优点有：设备在真空下工作，除泵以外，无转动件：制冷剂为水，对人无害，使用安全，操作简单；设备简单，一次投资小，而且可以安装在室外，节省土建费用；可利用工业企业中的废热或工业企业中的采暖锅炉，冬季供热采暖，夏季供汽制冷。
蒸汽喷射制冷的主要缺点是效率较低，设置专用锅炉和利用小型采暖锅炉供汽是不经济的。冷冻水温在5℃以上时可以采用，在10℃以上时比较经济。其效率随冷冻水温度变化，冷冻水温度越低，消耗蒸汽量越大，效率越低。此外，冷却水量很大，单机制冷量相同条件下，蒸汽喷射式制冷机所需冷却水是压缩式或溴化锂吸收式的1.5倍左右，这对于水源紧张的地区是不宜采用的。
2.热、湿处理方案
热、湿处理的过程包括加热、冷却、加湿和减湿。热、湿交换的介质有水、蒸汽、液体吸湿剂和制冷剂。热、湿交换的设备可分为直接接触式和表面式，其中直接接触式包括喷水室和蒸汽加湿器。表面式包括空气加热器，水冷式表面冷却器和直接蒸发式表面冷却器。
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